Une modélisation électromagnétique basée sur une formulation par changements d'échelle a été développée et appliquée sur différents circuits planaires hyperfréquences. Cette méthode vise à s'affranchir des problèmes classiques de simulation, liés à la multiplicité des échelles mises en jeu dans une structure. Le caractère multi-échelle d'une struct...
Cette étude a porté sur l optimisation de la croissance épitaxiale du silicium poly/mono cristallin en couche épaisse pour la réalisation de micro-systèmes.Dans un premier temps l étude a consisté à adapter le procédé EPIPOLY (Epitaxial Polysilicon) à nos réacteurs. Dans l optique de réaliser des micro-systèmes à couches épaisses sans utiliser de g...
