Synthèse et caractérisation de silicium cristallin par croissance VLS pour l'intégration 3D séquentielle de transistors MOS

Authors

• LECESTRE, Aurélie
• DUBOIS, Emmanuel
• VILLARET, Alexandre

Publication Date

Jan 01, 2010

Source

OpenGrey Repository

Keywords

• Microelectronics
• Microwave
• Microélectronique
• Hyperfréquence
• Transistors Mosfet
• Dépôt Chimique En Phase Vapeur
• Silicium
• Couches Minces
• Nanofils
• Croissance
• Silicium Cristallisé
• Transistors
• Intégration Verticale
• Nanolames De Silicium
• 09C - Electronic Devices, Electromechanical Devices
• Micro-Ondes Et Microtechnologies

Language

French

License

Unknown

External links

• Full record on hdl.handle.net