SWC - Single Wafer Clean. Entwicklung einer vollautomatischen, clusterfaehigen und modularen Anlage zur nasschemischen Reinigung und Aetzung einzelner Si-Wafer Endbericht

Authors

• Kroeber, W.
• Malin, K.
• STEAG MicroTech GmbH, Sternenfels (Germa...

Publication Date

Jan 01, 1995

Source

OpenGrey Repository

Keywords

• 09A - Components
• 13H - Industrial Processes, Manufacturing Processes
• Silicon
• Wafers
• Washers (Cleaners)
• Cleaning
• Cleanliness
• Automation
• Etching

Language

German

License

Unknown

External links

• Full record on hdl.handle.net