Study of barium depositions for non-reciprocal integrated microwave devices / Etude de dépots de ferrite pour dispositifs intégrés micro-ondes non réciproques

Cette thèse a permis d'optimiser les propriétés de couches épaisses d'hexaferrite de baryum, obtenues par évaporation au canon à électrons, en vue de la conception d'un circulateur intégré en technologie MMIC. Cette étude montre que lorsque la température des substrats est de 700Cles dépôts sont cristallisés. Selon les conditions d'évaporation il est possible d'observer soit la phase pure : BaFe12O19, soit un mélange de phases : BaFe12O19 + BaFe2O4. De plus, nous constatons une orientation préférentielle dans le plan de la couche. Les propriétés magnétiques mesurées sont acceptables pour l'application visée. Nous avons aussi mis en évidence un phénomène d'évaporation préférentielle qui ne permet pas de réaliser un transfert stoechiométrique du lingot aux substrats. La solution envisagée est de s'équiper d'un bâti d'évaporation comportant plusieurs sources différentes. Enfin, nous nous sommes intéressés à la méthode des plans d'expériences. / LIMOGES-BU Sciences (870852109) / Sudoc / Sudoc / France / FR