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Plasma- und ionenstrahlunterstuetzte Verfahren fuer die Oberflaechen- und Duennschichttechnologie Studie zur Analyse und Bewertung des derzeitigen technischen Standes und Strukturierung eines zugehoerigen Forschungsprogrammes

Authors
  • Rie, K.T.
  • Bundesministerium fuer Forschung und Tec...
  • Braunschweig Technische Univ. (Germany)....
Publication Date
Jan 01, 1987
Source
OpenGrey Repository
Keywords
License
Unknown
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Germany

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