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Nucléation, croissance et comportement des poussières dans les plasmas réactifs radiofréquence basse pression (des nanocristaux aux grains submicroniques polycristallins)

Authors
  • CAVARROC, Marjorie
  • BOUFENDI, Laïfa
Publication Date
Jan 01, 2007
Source
OpenGrey Repository
Keywords
License
Unknown
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