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Nucléation, croissance et comportement des poussières dans les plasmas réactifs radiofréquence basse pression (des nanocristaux aux grains submicroniques polycristallins)

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Publication Date
Source
OpenGrey Repository
Keywords
  • Plasma Physics
  • Physique Plasma
  • Plasmas (Gaz Ionisés)
  • Matériaux Nanostructurés
  • Plasmas Poussiéreux
  • Nanoparticules
  • 20J - Plasma Physics, Gas Discharges
  • Physique Des Plasmas
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