Nouvelles technologies de capteurs MEMS en diamant pour des applications de transduction

Authors

• BONGRAIN, Alexandre
• LISSORGUES, Gaëlle

Publication Date

Jan 01, 2011

Source

OpenGrey Repository

Keywords

• Electronics
• Optoelectronics
• Electronique
• Optoélectronique
• Systèmes Microélectromécaniques
• Biomems
• Diamant
• Propriétés Mécaniques
• Diamant Cvd
• Mems
• Poutres
• Capteurs Bio-Chimiques
• 09C - Electronic Devices, Electromechanical Devices
• 09B - Circuits
• Électronique, Optronique Et Systèmes

Language

French

License

Unknown

External links

• Full record on hdl.handle.net