Nanoscale characterization of leakage currents in ultra-thin oxide layers for microelectronics

Authors

• HOURANI, Wael
• GAUTIER, Brice
• MILITARU, Liviu

Publication Date

Jan 01, 2011

Source

OpenGrey Repository

Keywords

• Electronics
• Electronic Circuit
• Integrated Circuit
• Electronique
• Circuit électronique
• Circuit Intégré
• Microélectronique
• Transistor Métal-Oxyde-Semiconducteur - Mos
• Microscopie à Force Atomique - Afm
• Couche Mince D'Oxyde
• Microscopie à Force Atomique Tunnel - Tuna
• Courant De Fuite
• Courant Tunnel
• Tunnel Fowler-Nordheim
• Hillocks
• 090 - Electronics And Electrical Engineering, Computer Science, General
• Dispositifs De L'Electronique Intégrée

Language

English

License

Unknown

External links

• Full record on hdl.handle.net