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Microcapteurs chimiques à base de micropoutres en silicium modi?ées à l'aide de matériaux inorganiques microporeux

Authors
Publication Date
Source
OpenGrey Repository
Keywords
  • Electronics
  • Electronique
  • Microcapteurs
  • Détecteurs De Produits Chimiques
  • Zéolites
  • Détection
  • Capteurs Chimiques
  • Micropoutres
  • Fréquence De Résonance
  • Facteur De Qualité
  • Zéolithes
  • 090 - Electronics And Electrical Engineering, Computer Science, General
  • Electronique
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