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Lasergestuetztes Sensorsystem zur Online-Prozesskontrolle fuer das US-Bonden von Mikrosystemen (LASOP-MST) Abschlussbericht

Authors
  • Siegmund, G.
  • Carrass, A.
  • Prietzsch, D.
  • Lang, K.D.
  • Schilde, B.
  • Melzer, K.
  • Rudolf, F.
  • Osterwald, F.
  • Technische Univ. Dresden (Germany). Faku...
  • Fraunhofer-Institut fuer Zuverlaessigkei...
  • Optosys GmbH, Berlin (Germany)
  • Polytec GmbH, Waldbronn (Germany)
  • F und K Delvotec Bondtechnik GmbH, Ottob...
Publication Date
Jan 01, 2000
Source
OpenGrey Repository
Keywords
License
Unknown
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Abstract

Germany

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