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An introduction to analytical electron microscopy

Authors
Journal
Micron (1969)
0047-7206
Publisher
Elsevier
Publication Date
Volume
3
Issue
1
Identifiers
DOI: 10.1016/0047-7206(71)90172-5

Abstract

Résumé La microscopie électronique analytique combine les techniques de la microscopie électronique de haute résolution avec la microanalyse aux rayons X de haute sensibilité sur des spécimens fins. L'analyse des éléments dépend du spectre caractéristique des rayons X produit par le passage des électrons à travers l'échantillon. Ce spectre est analysé, ou par la dispersion de longueurs d'onde des rayons X, utilisant des spectromètres de cristal, ou par la différentiation d'énergie non dispersante, utilisant des compteurs de l'état solide ou du passage de gaz. Des zones aussi petites que 2000Å de diamètre peuvent être choisies pour l'analyse, en concentrant l'illumination avec un “miniobjectif” pendant qu'on observe l'image sur l'écran fluorescent. Il y a beaucoup d'advantages à exécuter l'analyse sur des coupes fines. La zone d'analyse est toujours localisée exactement, des dommages du spécimen sont minimes et les rectifications pour l'absorption et fluorescence, nécessaires d'habitude dans l'analyse de matière en volume sont négligeables avec les coupes fines.

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