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Diffusion des dopants dans les dispositifs de la microélectronique (codiffusion de l arsenic et du phosphore dans le silicium, étude unidimensionnelle et bidimensionnelle)

Authors
  • RODRIGUEZ, Nicolas
  • GIRARDEAUX, Christophe
Publication Date
Jan 01, 2008
Source
OpenGrey Repository
Keywords
Language
French
License
Unknown
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