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Cinétiques de condensation et de croissance de couches minces amorphes de bioxyde de titane synthétisées, par condensation de plasmas froides (pulvérisation réactive diode) sur de la silice fondue

Authors
Journal
Thin Solid Films
0040-6090
Publisher
Elsevier
Publication Date
Volume
7
Identifiers
DOI: 10.1016/0040-6090(71)90075-7
Disciplines
  • Physics

Abstract

Résumé Dans ce mémoire, on considère les évolutions en fonction du temps de la quantité de matière condensée et de l'épaisseur de couches minces amorphes de TiO 2 synthétisées par pulvérisation réactive diode sur des substrats de silice fondue. Les résultats obtenus pour diverses conditions expérimentales confirment le modèle réactionnel des processus de germination croissance. En particulier on montre expérimentalement que le mécanisme de croissance isoépitaxique, procéde de la répétition périodique de 2 processus différents.

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