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Experimental investigation of the ZrBClH CVD system

Authors
Journal
Journal of the European Ceramic Society
0955-2219
Publisher
Elsevier
Publication Date
Volume
11
Issue
3
Identifiers
DOI: 10.1016/0955-2219(93)90094-8

Abstract

Zusammenfassung Das ZrBClH System wurde ausgehend von Gas-mischungen von BCl 3, ZrCl 4 und H 2 mittels LPCVD untersucht. Durch Anwendung einer rationellen Versuchsanordnung konnte gezeigt werden, daß die Abscheidungsgeschwindigkeit und die Oberflachenmorphologie in starken Maße von der Reduktion von Bortrichlorid durch Wasserstoff abhängig sind. Die Kinetik wird ausfurlich dargestellt und ein Abscheidungsdiagram erstellt, welches in guter Übereinstimmung mit thermodynamischen Betrachtungen ist. Aus der Charakterisierung der Abscheidungs-produkte folgt, daß Zirkoniumdiborid als einzige Verbindung in diesem System erhalten werden kann. In Abhängigkeit von den experimentellen Bedingungen kristallisiert die Substanz entweder in einer isotropen Form oder in drei Texturtypen und unter bestimmten Umständen kann nebenbei elementares Bor auftreten. Die Existenz einer amorphen Domäne aus Bor mit einem geringen Anteil von Zirkonium (<5%) wurde ebenfalls nachgewiesen.

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