Affordable Access

Het ontwerp van een shearing interferometer

Authors
Publisher
Technische Universiteit Eindhoven
Publication Date

Abstract

Het antwerp van een shearing interferometer Rapportnr.: WPA31 0044 Door: Patrick Dooms id.nr: 301029 Verslag van een afstudeeropdracht van de Technische Universiteit Eindhoven, Faculteit Werktuigbouwkunde, Sectie Precision Engineering. uitgevoerd bij: Philips N.V., CFT Technology afdeling Measurement & Inspection Afstudeer-hoogleraar: Begeleiders -Philips: -TUE: Prof. dr. ir. P.H.J. Schellekens dr. ir. C.H.F. Velzel ing. K. Struik Datum: augustus 1996 Samenvatting In dit verslag wordt het ontwerp beschreven van een eenvoudig, goedkoop en handzaam apparaat voor het kontaktloos meten van oppervlaktestructuren. Dit apparaat is ontwikkeld bij Philips CFT in het kader van een Europees research project. Het doel van het meetapparaat is het bepalen van de autocorrelatiefunctie (ACF) van het oppervlak. Deze autocorrelatiefunctie geeft informatie over de hoogtes van een oppervlak en de verdeling van deze hoogtes over dat oppervlak. Het bepalen van de ACF komt neer op het bepalen van de modulatiediepte (contrast) van het oppervlak als functie van de onderlinge verschuiving, ofweI shear, van twee identieke beelden van het oppervlak ten opzichte van elkaar. Het contrast van het oppervlak is het verschil tussen de maximaal en de minimaal optredende intensiteit wanneer het faseverschil tussen de twee beelden . wordt gevarieerd. Uit de analytische oplossing van de modulatiediepte kan de formule worden bepaald waarmee deze modulatiediepte in de praktijk kan worden berekend uit de gemeten waarden. Voor het bepalen van de modulatiediepte als functie van de shear wordt gebruik gemaakt van een shearing interferometer. Deze shearing interferometer is gebaseerd op het Michelson-principe, waarbjj een van de spiegels een kanteling wordt opgelegd en de andere spiegel een verplaatsing. In de interferometer wordt het beeld wat wordt verkregen door het oppervlak te verlichten met een laser gedupliceerd. De twee identieke beelden lopen elk via een van de spiegels waardoor een van de beelden een shea

There are no comments yet on this publication. Be the first to share your thoughts.