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The characterization of Nb[sbnd]Al2O3and Nb[sbnd]MgO interfaces in MBE grown Nb[sbnd]MgO[sbnd]Nb[sbnd]Al2O3multilayers

Authors
Journal
Acta Metallurgica et Materialia
0956-7151
Publisher
Elsevier
Publication Date
Volume
40
Identifiers
DOI: 10.1016/0956-7151(92)90282-j

Abstract

Zusammenfassung Durch aufeinander folgende Abscheidung von Nb/MgO-Filmen mittels Molekularstrahlepitaxie werden Nb/MgO/Nb/Al 2O 3-Schichtofolgen auf der (0112) ( R)-Ebene von Saphir hergestellt. An Querschnittspra¨paraten dieser Vielfachschicht werden die verschiedenen Grenzfla¨chen mit hochauflo¨sender Elektronenmikroskopie untersucht. Die Orientierungsbeziehungen zwischen Nb und Al 2O 3 und zwischen Nb und MgO werden bestimmt; die Fehlpassungsversetzungen, Stufen und Facetten an den beiden Grenzfla¨chen werden analysiert. Auβerdem ergibt sich, daβ sich wa¨hrend der starken Elektronenbestrahlung bei der hochauflo¨senden Abbildung eine modifizierte Schicht an der Nb/Al 2O 3-Grenzfla¨che durch eine Festko¨rperreaktion bildet. Elektronenstrahl-induziertes Kornwachstum la¨uft zusa¨tzlich in den Nb-Filmen ab.

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