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Automated wafer environment control (AUTOWEC) Final report / Automatisierte Regelung der Waferumgebung - AUTOWEC Schluss...

Gall, H. Hafner, M. IBM Deutschland G.m.b.H., Sindelfingen (...

Available from TIB Hannover: DtF QN1(35,36) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische Informationsbibliothek / SIGLE / Bundesministerium fuer Bildung, Wissenschaft, Forschung und Technologie, Bonn (Germany); European Union (Euro), Brussels (Belgium) / DE / Germany

M2 - layer full SMIF and minienvironment. In IBM 200 MM 4 MEG dram line

IBM Deutschland GmbH., Stuttgart (German... Meissner und Wurst G.m.b.H. und Co., Stu...

The test results demonstrated that the cleanroom concept of the test line qualifies for a 64 MB future application. The successfull (integration) coexistence of manual and automatic SMIF solutions offers suitable methods of future Fab upgrades. The minienvironments solutions improved the cleanliness and achieved predictable high cleanliness levels ...

Automated wafer environment control (AUTOWEC) Final report / Automatisierte Regelung der Waferumgebung - AUTOWEC Schluss...

M2 - layer full SMIF and minienvironment. In IBM 200 MM 4 MEG dram line

Automatisierte Regelung der Waferumgebung - AUTOWEC Schlussbericht

Automatisierte Regelung der Waferumgebung - AUTOWEC Schlussbericht

Survey and Qualification of 200 mm SMIF-Components Technical report

M2 - layer full SMIF and minienvironment. In IBM 200 MM 4 MEG dram line

Automatisierte Regelung der Waferumgebung - AUTOWEC Schlussbericht

Automatisierte Regelung der Waferumgebung - AUTOWEC Schlussbericht

Survey and Qualification of 200 mm SMIF-Components Technical report

Automatisierte Regelung der Waferumgebung - AUTOWEC Schlussbericht

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